超純水系統(tǒng)供氮及泄氮裝置應(yīng)用案例

氮封裝置由 供氮裝置 和 泄氮裝置 兩部分組成。供氮裝置由指揮器和主閥兩部分組 成；泄氮裝置由內(nèi)反饋的壓開(kāi)型微壓調(diào)節(jié)閥組成。氮?dú)鈮毫σ话阍O(shè)為100mmH2O.通過(guò)氮封裝置精確控制 。
空氣中含有二氧化碳、細(xì)菌、塵埃等雜質(zhì)，而超純水為純的溶劑，對(duì)這些雜質(zhì)的溶解能力很強(qiáng)，一旦超純水與空氣接觸，就會(huì)使其電阻率迅速下降，實(shí)踐證明15MΩ.cm以上的超純水暴露在空氣中1分鐘后水質(zhì)就會(huì)下降至3-4MΩ.cm，3分鐘以后就會(huì)下降到2MΩ.cm左右，因此超純水的儲(chǔ)存容器需確保水體與空氣的接觸。
超純水系統(tǒng)中為何需用氮封水箱？空氣中含有二氧化碳、塵埃等雜質(zhì)，而超純水為純的溶劑，對(duì)這些雜質(zhì)的溶解能力很強(qiáng)，故一旦超純水與空氣接觸，就會(huì)使其電阻率迅速下降，實(shí)踐證明15MΩ.cm以上的超純水暴露在空氣中1分鐘后水質(zhì)就會(huì)下降至3-4MΩ.cm，3分鐘以后就會(huì)下降到2MΩ.cm左右，因此超純水的儲(chǔ)存容器需確保水體與空氣的接觸。

超純水系統(tǒng)供氮及泄氮裝置應(yīng)用案例處理超純水與空氣接觸的方法：
充氮法：即在水箱水面上充入氮?dú)馐瓜鋬?nèi)維持適當(dāng)?shù)恼龎毫?，阻止大氣與箱內(nèi)水面接觸。
薄膜袋法：即在在水箱內(nèi)設(shè)置袋狀薄膜覆蓋于水面上，薄膜袋隨水位升降，減少水面與空氣接觸面積。   
浮頂法：即以密度比水輕的輕質(zhì)材料在水箱內(nèi)制成整塊板狀浮頂浮于水面，并用輕質(zhì)彈性材料（如海綿、發(fā)泡塑料等）遮蓋浮頂與箱間的間隙，浮頂隨水面升降。從而減少空氣與水面的接觸機(jī)會(huì)。
在上述三種方法中又以氮封水箱常見(jiàn)，實(shí)施簡(jiǎn)單，效果好。
氮封水箱的工作原理：
超純水氮封水箱是將一定量的氮?dú)獬淙朊芊獾乃鋬?nèi)，水箱內(nèi)氮?dú)鈮毫Σ淮笥?0Kpa，氮?dú)馐嵌栊詺怏w能防止CO2等其它物質(zhì)溶入水中影響水質(zhì)，保證水箱內(nèi)的水不受二次污染而導(dǎo)致水質(zhì)下降。純水設(shè)備氮封裝置由快速泄放閥及微壓調(diào)節(jié)閥兩大部分組成，而快速泄放閥由壓力控制器及單座切斷閥組成，當(dāng)儲(chǔ)罐內(nèi)壓力升高至設(shè)定壓力時(shí)，快速泄放閥迅速開(kāi)啟，將罐內(nèi)多余壓力泄放。微壓調(diào)節(jié)閥是在儲(chǔ)罐內(nèi)壓力降低時(shí)，開(kāi)啟閥門(mén)，向罐內(nèi)充注氮?dú)?。因微壓調(diào)節(jié)閥必須使用在壓力為0.1Mpa壓力以下，現(xiàn)場(chǎng)N2壓力較高，必須安裝壓力調(diào)節(jié)閥將壓力降低至0.1Mpa以下才可使用。壓力可按要求分段設(shè)定，從0.5Kpa至60 Kpa以下。
一般供氮?dú)鈮毫υ?×10^5-10×10^5Pa之間,罐頂呼吸閥僅起安全作用，是在主閥失靈,導(dǎo)致罐內(nèi)壓力過(guò)高或過(guò)低時(shí)，起到安全作用，在正常情況下不工作,泄氮閥安裝在罐頂，口徑一般與進(jìn)液閥口徑一致,一般泄氮閥的壓力設(shè)定點(diǎn)略大于供氮閥的壓力設(shè)定點(diǎn)，以免供、泄氮裝置頻繁工作，浪費(fèi)氮?dú)?、影響設(shè)備的使用壽命

1、超純水系統(tǒng)供氮及泄氮裝置應(yīng)用案例供氮及泄氮裝置：
在超純水系統(tǒng)中，超純水水箱泄氮部分也可以采用水封的方式進(jìn)行，即從水箱上部氣體空間引出單獨(dú)的管道，末端浸入水槽液面中，液面高度根據(jù)水箱上部氣體空間允許的最大正壓確定，也可以實(shí)現(xiàn)泄氮功能且比較經(jīng)濟(jì)。氮封閥的工作原理主要是通過(guò)閥門(mén)內(nèi)部的氮?dú)鈮毫?lái)實(shí)現(xiàn)閥門(mén)的控制和封閉。當(dāng)?shù)獨(dú)膺M(jìn)入閥門(mén)內(nèi)部時(shí)，通過(guò)調(diào)節(jié)閥門(mén)的開(kāi)度來(lái)控制氮?dú)獾牧髁?。?dāng)需要關(guān)閉閥門(mén)時(shí)，通過(guò)增加氮?dú)獾膲毫?lái)使閥門(mén)關(guān)閉，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體的封閉。

 ZZY-II型帶指揮器自力式壓力調(diào)節(jié)閥(簡(jiǎn)稱(chēng)氮封閥)無(wú)需外加能源，利用被調(diào)介質(zhì)本身壓力變化而實(shí)現(xiàn)自動(dòng)調(diào)節(jié)，使閥后壓力恒定，整機(jī)具有動(dòng)作靈敏、控制壓力波動(dòng)小，節(jié)約能源。指揮器操作型自力式壓力調(diào)節(jié)閥采用動(dòng)力源與信號(hào)點(diǎn)分開(kāi)檢測(cè)的方法，外加可調(diào)節(jié)流裝置，使整臺(tái)閥門(mén)的調(diào)節(jié)精度大大提高，減壓比最大可達(dá)2000：1。廣泛應(yīng)用于各種氣體減壓穩(wěn)壓的自動(dòng)控制場(chǎng)合，特別適合作為氮封的供氮閥使用，具有持續(xù)供氮壓力波動(dòng)小、反應(yīng)靈敏等特點(diǎn)。具體來(lái)說(shuō)，氮封閥的工作原理可以分為以下幾個(gè)步驟：

1. 氮?dú)膺M(jìn)入閥門(mén)：當(dāng)?shù)獨(dú)膺M(jìn)入閥門(mén)時(shí)，通過(guò)閥門(mén)的進(jìn)氣口進(jìn)入閥門(mén)內(nèi)部。
2. 控制氮?dú)饬髁浚和ㄟ^(guò)調(diào)節(jié)閥門(mén)的開(kāi)度，可以控制氮?dú)獾牧髁看笮?。?dāng)閥門(mén)開(kāi)度較大時(shí)，氮?dú)饬髁枯^大；當(dāng)閥門(mén)開(kāi)度較小時(shí)，氮?dú)饬髁枯^小。
3. 關(guān)閉閥門(mén)：當(dāng)需要關(guān)閉閥門(mén)時(shí)，通過(guò)增加氮?dú)獾膲毫?lái)使閥門(mén)關(guān)閉。通過(guò)增加氮?dú)獾膲毫?，可以使閥門(mén)內(nèi)部的密封件緊密貼合，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體的封閉。
微壓調(diào)節(jié)閥壓力調(diào)節(jié)范圍內(nèi)選定一設(shè)定值 如：3Kpa
泄氮設(shè)定值的設(shè)定應(yīng)遠(yuǎn)離供氮壓力值，如：8Kpa。
具體壓力的設(shè)定值要根據(jù)純水系統(tǒng)的產(chǎn)水量和水箱容量大小來(lái)確定選擇。
N2的純度為99.995％以上。
凈化一般處理超純水與空氣接觸的方法：

儲(chǔ)罐氮封閥 閥體部分

結(jié)構(gòu)大類(lèi)：自力式

閥芯型式：?jiǎn)巫胶馐?/p>

結(jié)構(gòu)分類(lèi)：帶指揮器型

超純水系統(tǒng)供氮及泄氮裝置應(yīng)用案例

超純水系統(tǒng)供氮及泄氮裝置應(yīng)用案例儲(chǔ)罐氮封閥 規(guī)格與技術(shù)參數(shù)

注：表中數(shù)據(jù)為本公司標(biāo)準(zhǔn)配置，可按用戶要求另行選配

超純水系統(tǒng)供氮及泄氮裝置應(yīng)用案例儲(chǔ)罐氮封閥 連接尺寸及標(biāo)準(zhǔn)

連接方式：法蘭 （標(biāo)準(zhǔn)型） 螺紋、焊接 （須用戶）

法蘭標(biāo)準(zhǔn)：PN16鋼制法蘭按GB/T9113.1 PN40鋼制法蘭按GB/T9113.2

密封面型式：PN16為突面（RF）； PN40為凹凸面，閥體為凹面；

法蘭端面距：GB12221-89

薄膜執(zhí)行機(jī)構(gòu)氣信號(hào)接口：內(nèi)螺紋M16×1.5、M10X1、RC1/4

* 連接方式、閥體法蘭及法蘭端面距可按用戶的標(biāo)準(zhǔn)制造,如：ANSI、DIN、JIS等標(biāo)準(zhǔn)。

注：1、指揮器與主閥可分開(kāi)安裝

超純水系統(tǒng)供氮及泄氮裝置應(yīng)用案例安裝及日常維護(hù)：

1、安裝：
（1）安裝前，檢查整機(jī)零件是否缺損或者松動(dòng)，對(duì)管道應(yīng)進(jìn)行清洗，介質(zhì)流向應(yīng)與閥體箭頭指向一致。
（2) 為便于現(xiàn)場(chǎng)維修與操作，閥四周應(yīng)留有適當(dāng)?shù)目臻g。
（3）閥門(mén)應(yīng)正立垂直安裝在水平管道上，閥體與管道的法蘭連接，要注意軸度，并應(yīng)安裝在環(huán)境溫度不超過(guò)-25~55°C的場(chǎng)合使用。

2、超純水系統(tǒng)供氮及泄氮裝置應(yīng)用案例使用
（1）開(kāi)啟閥前截止閥，使介質(zhì)緩慢流入閥體
（2)擰開(kāi)指揮器護(hù)罩，松開(kāi)指揮器調(diào)節(jié)螺釘
（3）調(diào)節(jié)指揮器主彈簧，使閥后壓力定值
（4）固定指揮器調(diào)節(jié)螺釘，裝好護(hù)罩，調(diào)壓閥即可開(kāi)始工作
（5）不用時(shí)，關(guān)閉閥前截止閥
3、超純水系統(tǒng)供氮及泄氮裝置應(yīng)用案例維護(hù)
（1）拆卸閥門(mén)時(shí)，要保護(hù)好精密零件的表面，拆裝閥座時(shí)，要使用專(zhuān)用工具
（2）閥芯與閥座，不管修理或者更換，密封面都必須進(jìn)行研磨
（3）彈簧若有裂縫跡象，必須更換
（4）密封墊片與0型圈每次檢修時(shí)全部更換，膜片根據(jù)檢查結(jié)果而定。
（5）閥門(mén)平時(shí)維護(hù)，只有觀察閥后導(dǎo)壓器上的壓力表是否符合設(shè)計(jì)值要求即可。另外若發(fā)現(xiàn)各連接處有滲漏，可擰緊螺母與螺釘或更換密封墊片與0型圈生產(chǎn)ZZYVP-16B帶指揮器自力式氮封閥（儲(chǔ)灌氮封）蒸汽減壓穩(wěn)壓閥等自力式閥。

超純水系統(tǒng)供氮及泄氮裝置應(yīng)用案例上例以貯罐1KPa為例

1、ZZDG-16B供氮閥的取壓位置應(yīng)離貯罐(或緩沖罐)較近。
2、壓力表應(yīng)置于取壓點(diǎn)不遠(yuǎn)處，以免引起不必要的爭(zhēng)議。
3、ZZDG-16B供氮閥閥后管道不宜太小。
ZZYVP-16B帶指揮器自力式氮封閥（儲(chǔ)灌氮封）連接尺寸及標(biāo)準(zhǔn)
法蘭標(biāo)準(zhǔn)：GB9113-2000；
法蘭密封面型式：凸面；
信號(hào)接口：內(nèi)螺紋M16×1.5；
閥體法蘭及法蘭端面距離可以按用戶的標(biāo)準(zhǔn)制造。如ANSI、JIS、JPI等標(biāo)準(zhǔn)